（原标题：华海清科(688120.SH)：欺骗于Cu、Al、W、Co等金属制程的薄膜厚度测量栽植已发往多家客户考证ag九游会官网，落幕小批量出货）

格隆汇4月30日丨华海清科(688120.SH)在投资者互动平台示意，当今公司湿法栽植包含清洗栽植及供液系统，其中清洗栽植已批量用于公司晶圆再生出产，2023年，首台12英寸单片末端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片龙头企业进行考证；欺骗于12英寸集成电路FEOL/BEOL晶圆正后面及边际清洗的清洗机已完成安设；用于湿法工艺栽植中研磨液、清洗液等化学品供应的SDS/CDS供液系统栽植已取得批量采购。欺骗于Cu、Al、W、Co等金属制程的薄膜厚度测量栽植已发往多家客户考证，落幕小批量出货，部分机台已通过验收。具体家具先容请详见公司裸露的2023年年度敷陈。 比年来，公司晶圆再生、重要耗材与维保等管事业务收入约占交易收入的比例在10%傍边。公司晶圆再出产能依然达到10万片/月ag九游会官网，在国内盛名大厂均已完成前期导入职责，取得多家大出产线批量订单并永远闪现供货；跟着公司CMP栽植保有量的束缚攀升，耗材零部件、抛秃顶维保管事等业务量也会相应普及，重要耗材维保及本事管事将成为公司新的利润增长点。